md。”
“........”
“一次渗透碳原子的dpa为18.3.......。”
“二次渗透碳原子的dpa为32.1.......。”
........
“这不可能!”
看到最后dpa损伤结果,中年组长瞬间脱口而出,满脸的不敢置信。
这一组资料上的数据,实在是太令人震惊了。
一次渗透碳原子的dpa损伤只有18.3,这怎么可能?
哪怕是风车国那边最先进的离子注入,碳化硅晶材中的碳原子损伤也会达到三位数以上。
更关键的是,这种方式二次渗透的都只有低两位数的dpa损伤。
这是上帝才能做到事情。
这样低的渗透损伤率,如果应用到芯片的制造上.......。
实验室的中年组长已经不敢再想下去了。
正如华国京城某间实验室中一样,这样的场景不断重复在世界各地中。
模拟空间中,一下午的时间很快就过去了。
经历过整整六次的渗透处理后,太阳也下山了。
但今天的直播到现在还不能停下。
渗透处理过后的碳化硅晶材需要更进一步处理,将刚注入的铝离子稳定下来,形成可用的n-漂移层。
至于稳定的方法,那就是通过高温进行退火处理。
清洗干净的碳化硅晶材吹干后整齐的倒放在干燥的玻璃容器中,韩元从一旁的材料中翻出来一个透明塑料袋。
里面是细细的黑色粉末,上面还有一个纸制标签,写着‘碳粉’两字。
将袋子打开,里面碳粉取出来装入注入了铝离子的沟槽中,覆盖住整个沟槽。
三十颗碳化硅晶材全都处理好后装入金属盘中,然后送入高