温熔炉中。
熔炉中的温度控制在一千一到一千四百度之间。
这一步很重要,通过高温加碳粉在碳化硅晶材的n+漂移层上形成一道保护膜,可以稳定有效的控制住n-漂移层中的电子流失。
高温退火的过程是三个小时左右。
从太阳下山,一直到月亮升起,韩元才将熔炉中的碳化硅晶材拿出来,冷却后清理掉多余的碳粉。
处理完成后的碳化硅晶材的n-漂移层再通过浓硫酸来清理掉顽固的碳渣。
这一步完成后,韩元才松了口气。
碳化硅晶体管中最难处理的n-漂移层他已经制备完成了。
剩下的,明天再来处理就行了。
和直播间里面观众打了个招呼,他便停下了直播。
n-漂移层处理完成后,剩下的工作相对而言就简单多了。
当然,这只是针对他制造的这种碳化硅晶体管来说的。
如果是现代化的集成芯片,后面还需要注入p阱、p+接触区、n+接触点、p-区域等一些列的步骤。
麻烦程度可不止一点半点的。
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