系统。

投影光学系统则必须使用反射镜代替透镜，这使得反射镜的精度要求很高，同时制造成本昂贵。

掩膜方面因为极紫外光线的特殊性，普通掩膜版非常容易破坏，这就需要研发出特殊的掩膜版。

可以说这几项问题每个单独拿出来，都需要研究所进行大量长时间的研究。

并且还不见得一定会有成果。

足可见制造整台极紫外高端光刻机的难度。

也怪不得海外半导体领域有恃无恐，并不担心他们能够实现高端芯片制造产业链国产化。

幸好高端光刻胶的问题已经解决，否则便相当于是又增加了难度。

徐昀弄清楚这些的同时自然也有了方向，这时面对罗长辉的询问并未隐瞒什么，当即便大方讲出了自己接下来的规划。

“我打算先解决光源问题。”

在场的研究员很清楚这些问题都要解决，先主攻哪个并无多大区别。

自然不会对徐昀的决定提出质疑。

相反听到这个答案后纷纷点头表示附和。

“光源确实是非常重要的问题，我们现在所能制造出的极紫外光源，功率方面根本达不到要求。”

“我没有意见。”

“我也支持徐教授的决定。”

徐昀对大家的表现非常满意，但若认为他只能做到这种程度可就大错特错了。

没等大家回过神来，他便又丢出一颗重磅炸弹。

“之后一段时间我会拿出光源的设计方案，另外后续我也会完成光学系统和掩膜的方案，到时候就要拜托大家合力将光刻机完成。”

如果说刚才大家对徐昀短时间看完全部资料只是意外和吃惊。

那么此刻听完这句话后，表情霎时间便僵硬在了脸上完全处于懵圈状态。

瞳孔骤缩仿佛发生