开了锅。
“已经全部看完了,这怎么可能?”
“两天时间就看完了,按照正常情况那么多资料就算不吃不喝估计也要十天半月。”
“简直不可思议。”
……
“我之前就说了,在看东西这方面我还是比较快的。”
徐昀闻言有些不好意思的补充了句。
而这照样让大家心情复杂,已经不知道该如何形容这种感受。
心想这哪里是单纯比较快,简直是太快了。
约摸过去三四秒的时间,只听杨靖忍不住说道:“看来我们是远远低估了徐教授的天赋啊。”
最终还是罗长辉出声化解这份尴尬氛围,重新把话题拉到正轨上。
“好了。”
“徐教授能展现出这种强大天赋,我们大家应该感到高兴才是。”
“正是这样才有更多希望解决光刻机问题。”
话音落下看到大家深以为意,他才扭头重新把目光放到徐昀身上抛出一个问题。
“徐教授。”
“不知道你打算先解决哪项问题?”
说完不单单是罗长辉,在场其他人也都第一时间把目光集中到了徐昀身上静静等待答案。
花费两天时间看完所里的光刻机项目资料后,徐昀知道国产极紫外光刻机主要面临的问题,主要分为光源和掩膜以及投影光学系统等。
极紫外光刻机光源发出的极紫外光线,极其容易被物质吸收。
光束经过多次反射后,只有不到2%的光线能使用。
能量转化率极低。
因此需要强大光源,来保证射线光源足够强。
另外极紫外光波长为13.5nm,由于容易被镜头玻璃等材料吸收,还会被空气和气体吸引影响折射率变化。
腔体需要采用真空