强激光、信息光学、光子材料等领域;而成光所,也就是省城光机所,则早在70年代就提出了未来的主攻方向是光测设备、大规模集成电路装备攻关项目。(此处略过安光所)
但苏远山知道,成光所的这些研究方向是失败了的。
现在已经是92年初,成光所会在明年推出被誉为电子十大科技成果之一的首台g线光刻机——1.5-2微米分步重复投影光刻机。然而因为良率实在太低以至于根本只能当个样机……
后来成光所再接再厉,又研发出0.8-1微米的分布投影光刻机,并号称是唯一一台做出过元器件的自主研发的光刻机。
听听这措辞,“做出过”元器件——悲凉中透着倔强。
从此国产光刻机再回首时已是百年身。
作为相关行业的从业者,苏远山当然了解过国产光刻机的历史。事实上成光所搞的这台就是仿造nec的2微米光刻机而来,但硬件可以山寨,嵌入式系统就没办法了。特别是各种微调,那是需要系统和经验的双加持。
苏远山今年的计划就是借着同在省城的优势拉着成光所的这波人吃一波经验。他还没想好怎么找借口合作,对面就找上门来,这不是想睡觉有人送枕头是什么?
……
见苏远山兴奋不已,父亲反而冷静下来:“你先别高兴太早,光刻机一共数万个零部件,属于极精密仪器。要开发嵌入式系统,必须得对其系统和结构有一定的了解才行。我们有这样的人吗?”
“我们当然没有,不过可以互相学习。”苏远山笑道:“而且光刻机说起来复杂,实际上嵌入式系统最难搞的主要还是在对准系统上,说详细点就是什么步进电机,力矩电机,伺服电机之类的马达的协作上……”
说到这里苏远山突然停住了。
一旁听得津津有味的张克一愣:“你咋不说了?”