造成本不算高，卖价也不过一亿美元上下，但因为光源、运动部件、透镜等部件制造难度极大，每一个相关部件的研发投入，都动辄数亿美元，是典型的资金、技术密集型企业。中

华制造能在本身制造水平不算太高的情况下，独立攻克各个关键部件的制造难关，其投入之大，可想而知。

中华制造原本没有光刻机制造能力。当

他们开始了力波钢铁厂建设，从中国方面获得了上千亿贷款。于是在一年多时间以后，他们就做出了0．31微米线宽的光刻机。由

此合理推断，光刻机的研发经费，绝大部分很可能就是挪用了钢铁厂的贷款。

大藏省会同各家厂商共同会商，以欧美的光刻机研发投入，再比照日本各厂商的经验，推算这笔研发投入总数估计在五十亿人民币，到七十亿人民币之间。以

中华制造在光刻机底蕴上的欠缺来说，就算总投入高达上百亿人民币，也不为怪。尼

康、gca等的实际制造成本，一台350纳米光刻机约为三千到三千五百万美元左右，要销售二十余台才能收回投资。而

每年高性能的光刻机销售数量，仅有一两百台。中

国的先进光刻机需求量不知道有多大，但绝不可能超过二十台！现

在0350纳米光刻机销售禁令解除后，光是尼康和佳能、日立三家企业，就接到了来自中国方面六台的购买意向。算上荷兰的asml、美国的gca等光刻机生产企业，预期购买总数可能高达十五台以上！这

个数量基本已经占据了中国对高性能光刻机的全部需求。

要知道，先进光刻机的目标客户非常集中，主要是运用于高精尖的国防、医疗、科研、航空航天精密仪器设备领域，以用来制造处理器、内存、通讯芯片等高性能集成电路，一般的企业买了也是浪费。

中国哪有