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第277章 历史性时刻(5 / 9)

满是喜爱。

再一次为自己让徐昀担任项目负责人的重大决定感到庆幸。

说起来当初也正是徐昀的光刻胶在全球引起比较大的言论热度,他这才下定决心邀请徐昀过来研发首台国产极紫外光刻机。

这时旁边的罗长辉也忍不住说:“徐教授的光刻胶确实解决了我们很大问题。”

徐昀听着两人给自己戴高帽,心里也是哭笑不得。

当即开口回应道:“毕竟是新型光刻胶,具体能否达到稳定的效果,暂时还不得而知呢。”

他这话自然不是谦虚。

这种新型光刻胶从研发出来并没有经过实际的高端芯片测试,且目前生产出来的存量也有限,很多地方确实需要看最终结果。

比如对于晶圆厂来说最重要的成品率。

如果使用这种光刻胶光刻的芯片残次率较大,那就算光刻胶成本很低,也绝对不会继续使用。

这也是新型光刻胶很难在国际上有市场的原因。

基本晶圆厂绝对不会冒险。

否则所造成的损失将直接影响到利润。

侯盛昌这会显然已经对徐昀无比信任,闻言伸手拍了拍徐昀的肩膀宽慰道:“没有你就没有国产极紫外光刻机的今天,要多给自己点自信才行。”似乎丝毫不觉得今天测试会有问题。

随即光刻机将极紫外光通过镜片,照在前面准备好的集成电路掩膜版上。

将设计师绘制好的电路图曝光在晶圆上。

后面则需要溶解光刻胶。

使光刻过程中曝光在紫外线下的光刻胶被溶解掉。

清除后留下的图案和掩模上的一致,再进行蚀刻。

尽管到这一步已经非常繁琐,可后续还需经过离子注入电镀抛光覆盖层数,直至制造出布满芯片的晶圆。

虽然这个等待的过程比较枯燥,

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