此次测试关乎整台光刻机的性能,只有通过测试才能进行到下一个交付环节,否则便要重新优化调试检查问题所在。
但局面变成这样的话,就不知道中间要消耗多长的调试时间。
肯定无法按照之前公开的时间交付光刻机,到那个时候半导体领域势必进一步恶化。
这种情况绝对是在场所有人都不希望看到的。
因此随着徐昀正式下达命令后,所有人都全神贯注耐心等待最终结果。
2021年6月5日,这对于国内半导体领域绝对是无比重要的一天。
研究所内由几十万零部件组成的精密仪器让人很难能移开目光,在这一刻仿佛已经形成了艺术品。
同时其价值也是普通人难以想象的。
不夸张的讲,一台极紫外光刻机的售价都高达几十亿美刀。
而徐昀采用全新核心技术研发的这台光刻机,相比阿斯麦成本上要低不少。
这点也算是国产极紫外光刻机的优势。
如果将来相互竞争的话,那么对方将很快失去原有的竞争力。
关于前期的材料准备工作早已经完成,制作成的芯片级单晶硅棒已经被切成薄片,变成高纯度的芯片级硅片也就是晶圆。
想要将晶圆制作成芯片,首先需要准备的是光刻掩膜版。
其作用是将芯片的功能模块电路系统以及物理结构地图绘制在印刷母版上,如此才能开始后面芯片的批量制造生产。
此次测试的芯片正是人工智能实验室和华威技术共同设计的智能汽车芯片。
实验室负责人颜恺明将之命名为灵思。
为7纳米工艺芯片。
这时徐昀侯盛昌罗长辉等人已经来到这台极紫外光刻机主控系统。
能看到晶圆即将进入下一个光刻阶段。
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