光刻方法,根据介质的不同,可以称之为湿式光刻法。”李兴文说。
倪星南继续问道:“具体要怎么操作?”
“将光学透镜和光致抗蚀剂之间的空气介质,转而用流体介质代替,就能缩短光波。”李兴文说。
前世华伟受到制裁后,李兴文特地去查看了一下光刻机的发展。
干式和湿式光刻技术的更替,代表着芯片事业进入了新的领域。
同时,aslm这个时候也登上了历史舞台。
以后他们家的eva光刻机,就是世界上最先进的光刻机。
倪星南已经没有心思跟李兴文聊天了,他想的全是李兴文刚才说的办法。
过了一会儿,倪星南神情越来越激动。
李兴文刚才所说的那种技术,倪星南认真的思考了一番,确实有成功的可能。
想要成功,对于这个流体介质的要求,应该会很高。
“你是怎么想到这种技术的?”倪星南忍不住问道。
要知道干式光刻技术,那是现在的主流技术。
有很多人想改善这种技术,经过多重实验,都是以失败收场。
李兴文所说的这个办法,彻底打开了一种新的思路。
“我今天在京城,路上听一个人说的。”李兴文随意道。
倪星南看着李兴文,一时都不知道该说些什么了。
这明显就是理由,一个很蹩脚的理由。
“我要去验证一下。”说完,倪星南就开始收拾东西了。
看到倪星南这个样子,李兴文忍不住笑了起来。
作为一个科研人员,恐怕这是他们刻在骨子里的东西。
一旦有什么新想法,就会立马付诸行动。
倪星南收拾到一半,发现李兴文正笑眯眯的看着他。
“你在京城还要待几