。所以我们就想,以周总的聪明才智,是不是可以在光敏型聚酰亚胺方向上做做研发,目前我们的重叠芯片,尽管测试样成功,但良率极低,线路精度达不到。除了设备精度之外,光刻胶也是很重要的一个原因……”
随后的会议上,余龙光和周飞宇聊起了中正公司的一些情况,聊起了光刻胶的事情。
中正公司内部的机密,余龙光肯定是不能透露的,说的都是一些能说的,或者是他对外界还未公布的一些细节。
这时,会议室内除了中正公司的人和周飞宇,其它人都被清场出去了。
按余龙光的说法,为了保密,请周飞宇理解一下。
“光敏型的聚酰亚胺材料?”
周飞宇心中一动,脑海里立即浮现出有关“中级薄膜技术”中针对超薄、特殊性能的薄膜的一些相关知识。
其中,的确提到可用于光刻胶的一些光敏型聚酰亚胺材料。
光刻胶,顾名思义,用于光刻的一种胶。
所谓光刻,字面意思就是用光去雕刻。
当然,自然界的光,以及各种极紫外线,是无法直接像一把刀一样去雕刻东西的,只有那种具有超高能量的激光之类,才能用于直接雕刻。
在芯片领域的光刻,是利用某些具有对光线非常敏感特性的胶,均匀涂抹在晶圆上,然后再在胶的表面贴付一层薄膜,这层薄膜被设计成需要的电路图案。光线从电路图案中穿过,照射到胶的表面,胶因为对光线敏感于是发生反应,显露出和电路图案相同或相反的电路图案来,那些没有被光线照射到的地方,自然还是被胶覆盖着。
然后,将晶圆浸入特制的溶液当中。
如此一来,被胶覆盖着的地方,晶圆被保护了起来,没有变化。而那些没有胶的地方,特制溶液就将晶圆腐蚀了。
腐蚀的痕迹,自然就和电路图案相同或者相反。
晶圆从特殊溶液中取出,用纯净水一冲,上面就