%,这也是为什么对euv光源的要求就是功率足够强,不然的话,华国也不可能在光源上实现不了突破,毕竟方法都知道,不可能造都造不出来。
而x光刻机就不同了,因为是直写式,不需要经过镜片折射,所以根本不用担心光源功率不足的问题,反倒要担心的是曝光时间稍微长了一点,反倒会影响到最终的效果。
当然,x光优点很多,但同样也有缺点。
那就是相比较euv光刻机来说,光刻效率比较低,在实现大规模生产上比较困难,这也是为什么x光刻机没有占据主流的原因,虽然到现在也仍然再用,不过并不是那么引起人们的关心。
不过,这个问题林晓自然是考虑到了,而他觉得x光刻机能搞,便是因为他刚才闪过的灵感,让他有了一个实现x光刻机大规模生产的方法。
那就是利用衍射效应。
x光是能通过晶体进行衍射的,并且一般来说,晶体结构基本上是利用x光衍射来测定的。
但是反过来说,如果选取合适的晶体材料作为透镜,然后利用衍射效应实现对x光的缩放,进而就能实现像euv光刻机那样的生产效率,在加上x光那强大的能量,实现更加快速的生产效率,十分的轻松。
当然,其中就有一个困难的问题了,那就是这个合适的晶体是什么,此外,利用衍射效应实现对x光的控制,其中需要处理的数据十分庞大。
所以到现在虽然也有利用这种衍射效应去实现芯片制造的,但是基本上都仅限于一些特殊的图形,应用案例十分之少。
对于林晓来说,他也仅仅只是这么想一想。
虽然现在的他还有一点把握,但是要是他给外界的人说自己要搞x光刻机的话,恐怕他们华芯盟第二天就得退出个一大半。
不再多想,他重新将目光投入到眼前的数学模型中。
如今升级了的他,再次回顾起这个模型,心中忽然觉得,这个模