！

而“稳态微聚束”技术，就是罗离走出的第一步。

……

另一边，

梁松看着眼前密密麻麻的解析和例图，陷入了深思。

“钉子科技……果然名不虚传……”

这一刻，他深深的震撼了。

送给他这项技术的，是来自钉子科技的首席工程师。

而这项技术，在他看来，将有可能彻底解决国产光刻机的制程问题！

“天才！这绝对是天才！”

“居然能想到用长波激光操控电子束，进而在高次谐波上辐射出高强度窄带宽相干光，以此来缩短波长……”

“哈哈哈哈……另辟蹊径，果然是天才出少年！”

“这个叫杨小秋的丫头，天赋已经远远超过了我们这帮糟老头子，哈哈哈……”

梁松大声笑着。

在他看来，杨小秋提出的这项“稳态微聚束”理论简直是颠覆性的创造！甚至可以彻底改变国际沿用了几十年的光刻法则！

所谓的稳态微聚束，是指用1064nm级别的波长激光，操控存储环内的电子束，使电子束环绕一整圈后形成精细的微结构，

这个结构叫做微聚束。

其原理是利用了电子的光学相位，能以短于激光波长的精度逐圈关联，使得电子可以被稳态的束缚在光线内……

简单来说，它可以在微结构层面，直接缩短激光的波长！

根据杨小秋提供的理论数据，微聚束结构可以将微波的波长缩短5至6个数量级！

改造后的波长可以覆盖从太赫兹到极紫外波段，应用于实际，完全可以实现大功率、高中频以及窄相带宽的辐射波，大大缩短光刻光源的波长！

目前国内最先进的光刻机是duv-193nm光源，极限曝光的精度是90nm，