罗离果断放弃了,这东西绝对不是现阶段可以买得起的!
然后他将目光锁定到5nm级别……这次是8厘米。
淦,放弃放弃!
然后是7nm……
14nm……
……
全部看完,罗离彻底无奈了。
以他目前的系统积分,居然只能买得起130nm级别的光刻机!还特么是duv光源!!
duv光刻机和euv光刻机能比?
寒碜谁呢?
duv光刻机大多采用的是波长为193nm级别的氟化氩准分子激光,或者波长为248nm的氟化氪准分子激光,单次曝光的极限制程在128nm到90nm之间,多次曝光虽然可以将精度提升至最高28nm,但却是以牺牲良品率为代价!
几乎每重复一次曝光,损坏的几率就增加一倍……靠duv光刻机想要造出28nm制程芯片,至少需要曝光5次以上!
先不说你连续曝光五次最终能成功几个,就算成功了,28nm也远远解决不了钉子现在的危机。
更别提暴增的材料成本了。
光刻工艺的核心资源是一种叫做光刻胶的化学合成剂,这东西在国内也无法制造。
在层层垄断下,光刻胶的进口量就那么多,其他厂商会允许你这么浪费?
在目前,duv光刻机受限于精度制程,已经无法满足后来14nm、7nm、5nm等更高制程的需求了,这时候就需要依靠euv光刻机。
euv光刻机采用的是一种13.5nm的极紫外光,可以在大约200平方毫米的面积下集成超过105亿颗晶体管。
用euv光刻机制造7nm级芯片,只需要曝光一次。
在现阶段,
国产芯片仅能满足日常生产生活的基础要求,高端光刻机