胶下面的晶圆产生变化,有的可能是让晶圆固化,有的可能是让晶圆腐蚀。”
“这也是光刻胶会被分为‘正负’两性的主要原因。”
顿了顿,韩元扭身从桌上拿起刚刚准备好的材料,接着道:“和硅基芯片使用安息香及其衍生物、苯乙酮衍生物、芳香酮类化合物作为光敏引发剂不同。”
“碳基芯片因为晶圆材料使用的是石墨烯单晶材料,对那些原本可以用作碳基芯片光敏引发剂的材料都具有相当强的抗性。”
“所以使用硅基芯片的光敏引发剂作为碳基芯片的增感剂是不行的,我需要重新进行配置一种。”
“在经过思考和实践,根据石墨烯单晶材料的特性,适合用作光敏引发剂的材料并不多。”
“其中最适合的,是一种‘4-三甲基戊基膦氧化合物和75%的α-羟基酮乙腈溶液组成的混合物’。”
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“这种混合物被我称呼为‘碳基紫外光引发剂’。”
“和安息香及其衍生物、苯乙酮衍生物、芳香酮类化合物这些传统的光敏引发剂相比,碳基紫外光引发剂对紫外光更加敏感,适用于普通紫外光和极紫外光。”
“除此之外,它的适配性相当高,不仅可以用于制备碳基芯片需要的光刻胶,更可以用于硅基芯片上。”
“如果说有什么缺点的话,那就是它的制造过程相当复杂,而且其中有一部分的制备过程不太适用于智能机械生产,需要经验相当丰富的工人进行管控。”
【小小的光刻胶,制造起来居然这么麻烦。】
【刚刚记录了一下,光感树脂是三种材料合成的,增光剂是两种,溶剂组最多,一共是十三种不同的材料。】
【我一直以为光刻胶就是一种普通的液态胶体,没想到这玩意的结构居然这么复杂。】
【光刻胶,嘿嘿,小岛国的好日