尘工作室。
不过和之前制备光刻机时不同,制备单晶硅要求的无尘环境要低好几个档次。
万级的无尘车间就足够了。
在化学实验室初步处理过的基础材料再度进行了深层次处理,韩元又检查了一遍需要使用的仪器和材料。
确认所有的东西都准备就绪后,韩元拉过拍摄镜头,道:“‘化学气相沉积-硅核心外延法’一共有七个步骤。”
“第一步:提供可供预处理的基底。”
“第二步:清洗。”
“第三步:提供可供单晶硅外延生长的腔体,腔体内设有基底储放装置,并将基底放置于基底储放装置上。”
“第四步:向制备仪器腔体内通入还原性气体,并将腔体内压强和温度调至制取时所需要的压强和温度。”
“第五步:向制备仪器腔体内通入气态硅源,在基底表面生成预设厚度的牺牲层。”
“第六步:控制时间,让单晶硅层在牺牲层上方形成。”
“第七步:将单晶硅层和牺牲层的连接体与基底分离。”
“七步程序,都可以使用计算机程序进行监控和控制,所以‘化学气相沉积-硅核心外延法’非常适合单晶硅的机械化批量生产。”
“所生产出来的单晶硅因为全程处于净结的制备仪器中,其纯度最高可达到99.9999999%。”
“相对于传统的单晶炉生产单晶硅来说,使用这种方法更加简单方便,更能节约成本。”
韩元话音落下,蹲守在他直播间里面的各国人员顿时眼前一亮,开心起来。
而岛国人员就痛苦的捂住了眼睛,不敢再看,时刻关注着消息的单晶炉、单晶硅生产厂商的各大高层更是脸色一片惨白。
他们知道,他们完了,全完了。
之前抱有的一线希望,现在已经彻底破灭