常佩服的说道。
“目前,我们的65制程技术的光刻机,已经是实现了量产了,明年突破45纳来技术的光刻机,应该是没有问题的,最多后年便可以实现量产化了。”林志华很自豪的说道。
“下一步,我们将研发28纳米技术的光刻机,之后才会集中力量,研发最高端的euv光刻机。”
“这也未免有点太快了吧!阿斯慢公司生产的光刻机,现在也还停留在22纳米的技术上,而且人家采用的可是极紫色光源的euv光刻机啊!那可是花费了多少时间,多大代价,才完成的科研突破啊!”另一名沪微电子集团的科研专家说道。
“的确是花费了很长的时间,很大的代价才完成了技术突破的,但其实我们只要解决了几个关键的技术,造出一台euv光刻机,也不是什么不可能完成的事情。”林志华说道。
“众所周知,如果了解光刻技术的发展史,大家就会知道光刻技术的原理并不复杂,还在微米制程时代的芯片产业,对于光刻机的要求并不高。”
“上世纪七十年代那个时候,发达国家有点实力的大公司,自己也能买来各种零件,自己组装光刻机。”
“不过随着技术的要求不断提升,光刻机的生产也就越来越专业化了。”
“尽管如此,光刻机的原理是不会变的,普的只是对技术要求的不断提高。”
“阿斯慢发展了这么多年,也投入了很大的代价,研究了很多年的时间,至今最高端的euv光刻机,都还没有实现量产。”
“我们虽然开始的晚些,比那些生产光刻机的知名企业,在技术上也落后了许多,但是我们也有我们的优势,我们已经知道了光刻机的很多的原理,甚至是掌握了很多的技木,也知道他们研发过程中出现的一些问题。”
“所以我们发展的时间,肯定是要大大的缩短啊,最终追赶上他们,甚至