种方法,包括半导体的制备方法。
就在我们使用酸洗的方式多晶硅里面多余的杂质溶解掉,然后高温蒸发掉材质里的多余气体之后,我们竟然得到了7个9的高纯硅料。”
张成接着汇报:“我想,如果我们采用更高等级的生产试验条件,采用更加严格的管理措施,比如,我们建立高洁净度的实验室,说不得我们能够制造出更高纯度的硅片呢。”
沈光林听了,半天没有说话,沉吟好久才说,“我立刻就赶过来,这件事暂时谁也不要说,我来看看咱们有没有走集成电路的可能。”
确实,虽然做半导体集成电路的晶圆和做太阳能电池的硅片用到的都是单晶硅,但是他们的生产方式和技术路线是不一样的。
材料确实是同一种材料,它们的不同最主要还是体现在纯度上。
如果用作太阳能发电的电池硅片,纯度为99.99%也就够了。但是如果用作半导体集成电路的芯片,它们对纯度的要求是9个9甚至11个9。
这是什么概念?小数点后还要有7位数的9,难度极高。
要达到这个要求,想一想就知道是很不容易的。
而且,集成电路制造使用的晶圆不光要求纯度,对它们的晶向,载流子寿命,尺寸,表面缺陷也都有要求,而且要求也都很高。
做高纯度单晶硅只是成功的第一步,在晶圆切割好后还需要低浓度离子注入,高浓度掺杂外延生长,退火,等等之后才可以进入下一步的实用工序。
沈光林之所这么着急的过来,是因为他发现实验室的路走偏了啊。
按照沈光林的原计划,他想的是能不能找到低廉生产单晶硅的方式,原意是用制造太阳能电池组件发电,结果呢,它们走向另一条道路了。
太阳能电池片已经生产出来了,测得的数据是光电转化效率是17.5%。