效层旋涂过后残存的溶剂含量,如果不退火的话,沸点100多摄氏度的氯苯,以及沸点更高,可达200摄氏度以上的溶剂添加剂dio等肯定会有所残留。
因此,许秋认为“放置变好”、“放置变差”、“放置不变”这些实验现象,背后可以归因于:
在蒸镀舱的真空环境下,器件内残存溶剂挥发对有效层形貌的影响。
对于氯苯、dio这些溶剂来说,它们在常温常压的条件下不容易挥发。
而在常温低压的条件下,就会逐渐从器件有效层中“跑出来”,扩散到外界的真空氛围中。
溶剂挥发的过程,是需要一定时间的。
正常蒸镀的过程持续时间只有2小时左右,不足以让有效层内部的残留溶剂完全挥发。
现在把这个时间额外延长3小时以上,就可以让溶剂近乎完全挥发。
溶剂挥发的过程中,也将伴随着有效层显微形貌的改变。
如果这个影响是正面的,反应出来的结果就是“放置变好”,反之,就是“放置变差”。
在经过退火操作的器件中,因为有效层内残留的溶剂较少,所以可以认为不存在溶剂挥发这个过程。
因此,额外的放置时间对于经由退火处理的器件性能的影响并不大。
可能长时间放置也会有变化,但在短时间内的表现就是“放置不变”。
当然,这些都是许秋提出的观点,具体对不对,只能通过不断的实验来检验。
不过,他自我感觉这套理论没什么问题,至少现阶段的实验结果,是支持他这些推论的。
许秋决定之后把“真空放置”这个实验操作,与热退火、溶剂退火等并列为一种对加工工艺进行优化的方式。
具体操作起来,可以晚上蒸镀完成,不打开蒸镀舱,让基片在舱里“闷一晚上”,等到第二天白天