小时。
在此期间,许秋向学姐请教了真空系统的工作原理。
陈婉清讲解道:“机械泵,最多只能将舱内压强降至零点几帕,必须使用分子泵才能将压强降低至十的负五次方帕这个数量级,从而达到蒸镀实验所需的最低真空度要求。
分子泵只能在低压强下使用。所以在压强大于20帕时,采用超真空挡板阀,阻隔分子泵和蒸镀舱连接;当压力低于20帕时将其关闭,再使分子泵和蒸镀舱连通。
分子泵启动后,还需要较长的时间,才能使蒸镀舱内压强达到1e-5级别。
这个时间在半小时至一个半小时之间。
如果一个半小时过后仍无法达到这个真空度,通常有两种情况。
一种是体系气密性不好,比如在关舱门时,门缝处夹了一个塑料袋;
另一种情况是舱体内蒸镀残留物过多,需要清理。”
虽然系统里也有影像资料供许秋学习,但他觉得还是听学姐讲解更好一些。
主要是两个人站一起,一直不互动也蛮尴尬的。
……
一小时后。
真空计示数达到5.2e-5帕,升温程序也进入第二阶段,一切正常。
十二分钟后。
温度示数达到400摄氏度,膜厚仪显示的实时蒸镀速率,在-0.01至0.01埃每秒之间波动,膜厚显示仍为0.00埃。
三分钟后。
温度示数继续增加,直至480摄氏度左右,蒸镀速率开始在0.00至0.03埃每秒之间波动。
当温度达到520摄氏度后,蒸镀速率维持在0.20至0.30埃每秒。
许秋先开启样品台旋转,在等待了约十秒钟后,同时打开样品挡板并将膜厚仪的膜厚计数器归零。
钙要蒸镀10纳米的厚度,也就