接下来的工艺相对来说比较简单,因为从这一步开始,碳基芯片就进入到了刻蚀步骤。
从这里开始,往后一直到封装的工艺,与硅基芯片的工艺重合度很高。
基本都是14纳米硅基芯片的工艺,只不过进行了一些适应性的改造,虽然有所改变,但是不大。
众人看完,感觉就像是三伏天在空调房里吃冰棍一样,有一种畅快淋漓的感觉。
他们回想起刚刚屏幕上的内容,工艺可以说已经十分完整了。
“不过还是有一些地方缺少了,比如新晶圆的制作上面就没有。”
谢雨跟眼镜师兄发表自己的看法。
碳基芯片生产所需要的晶圆自然不可能跟硅基芯片的完全一样,也是要经过一定的改良的。
这时候前面的刘院士站了起来,他拍了拍手,把还在讨论的众人吸引过来。
“大概的资料大家已经看完了,大家有什么问题现在就问吧。”
谢雨第一个举起了手。
“说吧。”刘院士马上点了她的名。
她站起来,“这个工艺是哪一所研究院的成果,怎么会领先我们这么多?这也太奇怪了吧?”
对啊,怎么会领先我们这么多?
谢雨问的问题,也是其他人想问的问题。
据他们所知,他们应该是国内研究碳基芯片走在最前面的队伍了,就连他们都还在研究90纳米碳基芯片工艺,这14纳米的碳基芯片工艺又是哪里来的?
这感觉就是孙悟空不用石头,直接就从空气里面蹦出来了,而且蹦出来的还是成佛之后的孙悟空。
他们倒是没有想过这份资料是假的。
因为这份资料是刘院士拿出来的,他们研究所的院长!
说他是国内碳基芯片领域的第一人都不为过。
这样的