在实验室内，苏远山遇到了意想不到的人。

“郑叔？”

郑振川正带着研究员站在原子力显微镜前观察着什么，这让苏远山颇有些惊讶。按理说郑振川这边用不着原子力显微镜的。

苏远山建的物理实验室当然不是只有他自己用，而是统一归于科技园实验室中心管理。任何人只要打个申请就能使用。

“我来分析一下第一次曝光后的硅晶圆表面。”郑振川呵呵笑道。

“喔，那你们继续。”苏远山决定不打扰对方。

“没事，我们已经弄完了。”郑振川走向苏远山，想了想道：“小苏，你上次提到的双工件台设想，我们所里考虑了一下，发现难度很大，感觉根据现有的条件走不通。但一旦实现的话，确实对于光刻机来说，会是一个极大的提升。”

“嗯，没错。终于走不走得通……”苏远山笑了笑：“我们先不忙考虑其他，仅从设计角度上来说，可以设计出这样的机械装置来配合光刻机吗？”

郑振川笑道：“这当然可以，只要是机械，就没有设计不出来的。无非是精度、效率、体积罢了。”

“那不就结了？”苏远山摊手：“总得先试试，精度效率先不管，先管体积，先搞出来再说。”

“只是那非一朝一夕啊。”

“慢慢来嘛。”苏远山呵呵一笑：“我出钱的都不着急呢，这玩意哪怕十年弄出来也没啥。但只要弄出来了，那就是大杀器，对吧？”

郑振川笑着点了点头：“确实。”

苏远山呵呵一笑。

asml之所以横扫全球，除了率先搞出193nm浸润式光刻机之外，双工件台也是它的独门绝活。国内是直到2020年了才搞了出来……

苏远山知道这些技术的难度，所以他压根不急，而且也没有办法着急。

远芯现在的研